显微镜物镜nanopositioning阶段qf50z - 400

压电 闭环 精度

我们QFOCUS®QF-50压电nanopositioning阶段使显微镜物镜和光学定位在一个大的旅行(400μm CL 450μm OL)不牺牲速度或纳米级性能。设计特点•400µm闭环旅行;450µm开环旅游•优秀step-and-settle和扫描性能•设计用于大,high-NA目标•优越的定位分辨率和线性•安装灵活性•29毫米直径通光孔径QF-50旨在适应新的光学仪器和新一代激光微加工的应用。由于高刚性机械设计,QF-50可以超越竞争压电扫描器产品更大,高数值孔径(NA)的目标。的QFOCUS QF-50压电阶段是遵循精密弯曲,使用有限元分析优化。由此产生的设计提供了杰出的刚度和共振频率使高吞吐量和快速闭环响应过程。除了高动态设计、细致的护理是QF-50挠曲轴承设计允许无与伦比的几何性能与直线度误差40 nm范围在整个旅行。直接计量反馈QF-50压电阶段可以选择闭环反馈(- c)使用一个独特的电容传感器设计,允许事实上分辨率和高线性度。与金属箔应变式和压阻传感器、电容式传感器提供了一种直接测量定位的运输使优越的精度和可重复性。