ANT130LZS阶段代表垂直运动性能的顶峰超低配置文件。以双侧式气动配重平衡与极低的摩擦特性,他们庄重地把准确性、重复性、速度和可靠性。令人印象深刻的动态能力和足够的承载力,ANT130LZS阶段是理想的选择当你需要优越的垂直运动在一个紧凑的形式。设计特点•增强代设计•达到最小增量运动1 nm -新•提供纳米级定位性能超过旅行长度160毫米•为超低概要文件提供了双侧配重平衡能够抵消14公斤有效载荷极其精确的性能在垂直方向•特性的高精度crossed-roller轴承良好的动态性能和足够的负载能力•最大化处理吞吐量和可靠性与无铁心的线性电动机直接传动•方便地集成到多轴运动系统中关键应用ANT130LZS阶段非常适合高精度和高动态垂直定位应用程序以最小的内存需求,包括:•光子学组装和检验•纤维排列和优化•光学制造、测试与检验•传感器检测与资格•半导体加工和检验•研究和实验室应用