COBRA BC 0600 F高级效率高级螺钉设计:钟形结构,获得专利的自平衡螺钉有效:一流的能源足迹,低成本,最小的维护,高级升级时间可靠:可靠的可靠性灵活性:面向应用程序的安静:安静:噪声水平<62 dB(a)紧凑型设计COBRA BC 0600 F Premium效率是经过验证的Cobra BC系列中的干螺钉真空泵。最先进的螺丝真空泵技术具有特殊开发的螺丝轮廓设置新的效率标准,使这些真空泵成为负载锁和转移室中任务的理想解决方案,以及计量,光刻,光刻,等级的过程物理蒸气沉积(PVD)和快速热退火(RTA)。与标准真空发电机相比,配备了最新的Busch Valboost技术配备了最新的Busch Valboost技术,配备了最新的Busch Valboost技术,与标准真空发电机相比,COBRA BC高级效率系列满足了当今最大节能和环境可持续性的需求。智能的待机模式以及各种灵活的空闲模式,提供了额外的节能潜力。高可靠性和最小维护进一步降低了总拥有成本。由于具有复杂的钟形悬臂结构,带有螺丝真空泵BC 0600 F Premium效率的双转子仅安装在电机侧,而独特的“飞行轴承”设计使入口轴承不必要。结果,抽水介质与轴承没有接触。