密度监测系统LambdaPro®OMS

电子行业的 激光 光学

丹顿真空的LambdaPro®OMS使您能够最大化收益率通过控制沉积在从运行运行运行和实现可重复的性能。LamdaPro OMS监控实时光学的特性,因为它被沉积,使用的反射或传输通过衬底或证人的筹码。这直接监控的衬底或间接证人芯片可以终止沉积所需的光学厚度。的LambdaPro®光学监控系统是高度可配置来满足您的具体规格和将导致增加生产多层光学收益率。这个解决方案提供了完整的集成到丹顿的计算机控制系统,提供一个高信号扫描率和模拟数字转换,工作时的反射和传输模式。Anti-reflectance和高反射涂层激光面光学传感器和红外过滤器和过滤器带通滤波器涂料中性密度滤光片金属化波束分割LambdaPro®OMS提供戏剧性的结果为多个电影栈在光学厚度和均匀性,同时提供敏锐的洞察索引实时实现,随着电影化学计量学。因为我们OMS测量光学厚度和不是物理厚度,这个解决方案很好复杂,多层光学栈。