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扫描透射电子显微镜SU9000
进行分析
为研究
BF-STEM
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特征
- 类型
- 扫描透射电子
- 技术的应用
- 用于分析和研究
- 观察技术
- BF-STEM, DF-STEM
- 配置
- 落地式
- 电子源
- 冷场发射
- 探测器类型
- 二次电子，背散射电子
- 其他特征
- 高分辨率，用于平面样品，半导体，抛光样品，地形学，纳米技术，石棉识别，晶圆，微成像应用，超高分辨率
- 放大
-
3000000单元
- 决议
-
0.4 nm, 0.8 nm, 1.2 nm
描述
冷场发射源是高分辨率成像的理想选择，具有较小的源尺寸和能量分布。创新的CFE枪技术为FE-SEM带来了卓越的光束亮度和稳定性，提供了高分辨率成像和高质量的元素分析。独特的物镜设计，具有EELS和衍射能力。SU9000是日立新推出的高级SEM。它具有独特的电子光学，样品位于物镜极片上下部分之间的间隙内。这种所谓的真正透镜内概念-结合下一代日立的冷场发射技术-保证了尽可能高的系统分辨率(SE分辨率0.4 nm @ 30 kV, 1.2 nm @ 1 kV无需光束减速技术[0.8nm带光束减速])和稳定性。为了将这种分辨率应用于实验室的实际应用中，SU9000采用了类似高端TEM系统的超稳定侧入样台，并结合了优化的振动阻尼和封闭机柜，以屏蔽电子光学系统免受环境噪声的影响。此外，SU9000的清洁真空概念提供了枪和样品室的真空水平，比上一代产品好一个数量级，从而最大限度地减少样品污染工件(使用日立的ZONESEM样品清洁器可以实现对样品本身的有效预观察清洁)。除了纯净，无与伦比的分辨率，SU9000还配备了卓越的2+2检测系统，用于样品表面，成分和传输观测。
