自动制样系统

为扫描电镜

该设备用于制备所需的晶圆部分，用于用STEM, TEM等分析，方法是在FIB系统的真空室中用离子束提取微样品。FIB微采样单元和FIB微采样方法FIB微柱采样的一个例子是一个微柱样品，包括一个分析点，直接从半导体器件中切割出来。微样品通过改变入射fib方向被切割或修整成各种形状。新开发的半导体器件评估系统由FB2200 FIB系统和HD-2700 200 kV STEM系统组成。该系统可在数小时内完成从缺陷点搜索到亚纳米尺度的结构分析。