热质量流量控制器SEC-Z500X系列

天然气 数字 模拟

这是HORIBA最畅销的数字质量流量控制器模型。它具有多量程/多气体功能，使用户可以在现场快速轻松地改变气体类型或全尺寸流量。高精度+/- 1.0% S.P，压电致动器阀，高速响应和全金属这种质量流量控制器适用于工艺良率提高和简化零件管理。数字/模拟，DeviceNet™和EtherCAT®通信都是可用的。高精度±1.0% S.P.该质量流量控制器的线性由多项式近似曲线补偿，并实现所有流量控制范围的高精度。为了提高实际气体的精度，各种工艺气体的校准数据均由堀巴产钢的标准气体测量系统测量。高速响应安装“可变PID系统”，任意两个设定值之间可实现1秒响应。可变PID是不断变化的，这取决于流量点的设置。这允许在全量程流量和气体改变时对PID因子进行优化。多气体/多量程解决方案组态软件可以快速、轻松地更改规格。 One key feature is the changes can be made without removing the mass flow controller from the gas panel or piping. This reduces the number of spare mass flow controllers required; saving both time and costs. The Mass Flow Controller SEC-Z500X is suitable for various applications as well as semiconductor manufacturing.