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压力控制器
ec - 5000系列
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EC-5000系列排气压力控制器可以保持一致的压力,用户的选择,在腔内。高分辨率的步进电机和独特的蝶阀确保快速,灵敏的响应任何压力变化。适用于高真空:不锈钢阀体耐腐蚀:型号与聚四氟乙烯阀体也可符合RoHS。当排气流量调整到最佳水平时:阻液均匀分布在薄膜中,防止了雾的二次沉积,防止了危险蒸汽的扩散。与流量传感器控制相比,由于阻力和其他污染的积累而引起的灵敏度变化较小,并且消除了湍流和其他噪声的影响,从而实现了优越,稳定,响应性控制。
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排气压力控制器ec -5000系列
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压力控制器
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