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气压控制器gr - 300系列

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特征

选项
气体

描述

晶圆背面冷却系统GR-300系列可以控制用于冷却晶圆背面的气体，晶圆背面由静电吸盘系统固定。GR-300的稳定性和准确性使其非常适合控制晶圆冷却系统中的氦和氩的流动。在下面的例子中，GR-300系列正在控制用于冷却由静电吸盘系统固定在位置上的晶圆背面的气体。

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