气体监测设备ir - 200

IR-200实时监测SiF4气体浓度，并根据SiF4气体浓度确定清洗终点。监控器SiF4浓度可达5000ppm紧凑设计可安装到排气管道除了SiF4，这款气体监控器可用于测量CIF3和其他气体。