气体监测设备ir - 400

高档型气体监测室清洗终点的ir - 400提供了实时监控监测室清洗终点在沉积过程中。通过优化清洗过程,ir - 400减少了清洗时间和天然气的使用。这减少清洁气体的使用导致室的减少伤害和提高生活的时候所有的系统组件。多气体监测(支持SiF4 andCF4) (ir - 422)高灵敏度气体细胞加热功能180 dec.C多头显示模拟/数字通信。实时端点的好处与红外监测室- 400减少时间清理减少使用清洁气体可重复的和可预测的清洁过程长室组件的生命周期