射频发生器rf - 120系列

高频电源(RF电源)产生13.56 MHz等离子体用于薄膜加工和蚀刻，包括溅射，蚀刻，CVD和离子镀。RF-120系列标准包括DeviceNet、RS232C和模拟接口。这些是多功能电源，提供模式操作、弧切/计数功能和过去数据的回忆等性能。还有一个匹配的网络，以方便每个电源和连接设备的组合。•模式操作根据射频电源预设的输出和时间数据进行自动输出控制，最多可设置3个模式，每个模式最多可设置5个点•电弧切割•电弧计数显示发生电弧的次数，达到预设次数后停止输出•脉冲操作(可选)脉冲频率:100hz ~ 10khz，负载:20 ~ 80% *需单独购买脉冲发生器•同步运行可连接其他射频电源同步运行•慢启动/慢下来•反射限幅延续控制当反射限幅器触发时，测量经过的时间，当达到规定的时间时，停止输出•过去数据存储器当发生异常时，输出前30秒的内部数据•匹配完成确认当反射功率小于设定值时，输出确认信号•电弧切割操作确认•限位器操作确认•事件/反射功率监控器输出•输入电源确认•射频输出确认•错误检查信号输出