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缺陷检查和审查
晶圆检查系统
390xx系列
表面缺陷
光学检查机
29xx系列
用于图案化的晶圆
高分辨率
缺点
激光检查系统
Voyager™
扫描
对于晶圆
表面缺陷
光学检查机
PUMA™9980
用于图案化的晶圆
缺点
光学检查系统
8系列
扫描
对于晶圆
引领
光学检查机
Circl™
对于晶圆
宏缺陷
光学检查机
SurfScan系列
表面
对于未汇款的晶圆
高分辨率
自动检查机
EDR7XXX™系列
光学的
对于晶圆
缺点
计量学
光学检查机
Archer™系列
用于图案化的晶圆
测量
缺点
激光测量系统
ATL™
即时的
临界维度测量系统
Spectrashape™系列
光学的
集成电路
尺寸
厚度测量系统
Spectrafilm™
对于电影
高精准度
固定厚度测量机
Aleris系列
电影
几何测量系统
Wafersight™系列
对于未汇款的晶圆
光学测量系统
热探针系列
原位过程管理
温度测量系统
Etchtemp系列
对于晶圆
温度测量系统
Sensarray系列
自动的
温度测量系统
Hightemp-400
对于晶圆
光测量系统
紫外晶圆
紫外线
对于晶圆
温度测量系统
masktemp 2
温度测量系统
wettemp-lp
对于晶圆
温度监测系统
Process Proce™1530/1535
测量
即时的
温度监测系统
Process Proce™1730
用于过程控制
温度测量系统
Thermal Track™5
即时的
便携的
独立
标线制造和质量控制
生产检查系统
Teron™6XX系列
表面缺陷
晶圆检查系统
Teron™SL6XX系列
表面缺陷
光学检查系统
FlashScan®
光学测量系统
LMS IPRO7
包装制造
光学检查系统
ICOS™F160
自动的
快速地
光学检查系统
ICOS™T3/T7
3D
2d
自动的
光学检查系统
ICOS™T890
自动的
3D检查系统
Kronos™1190
自动的
对于包装行业
对于晶圆
自动检查机
WI-2280
光学的
用于LED晶圆
缺点
复合半|mems |HDD制造
自动检查机
Candela®8xxx系列
光学的
表面
缺点
光学检查系统
Candela CS920
自动的
对于晶圆
光学检查机
Candela™71xx
硬盘驱动器(HDD)
表面
缺点
表面经理计和表面计量学
光学考验仪
alpha-step d-500
3D
手写笔
粗糙度
光学考验仪
alpha-step d-600
3D
手写笔
工业的
Stylus剖面研究仪
P-7
光学考验仪
P-17
手写笔
用于薄膜分析
Stylus剖面研究仪
P-170
Stylus剖面研究仪
HRP®260
平坦
光学考验仪
Zeta-20
3D
非接触
光学考验仪
Zeta-388
3D
非接触
纳米力学测试仪
硬度测试缩进器
imicro
硬度测试缩进器
NanoIndenter®G200
硬度测试缩进器
inano®
硬度测试缩进器
纳米叶
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