自动检验机eDR7xxx™系列

光学 对于晶片 缺陷

电子束审查和分类系统晶片缺陷eDR7380™电子束(电子束)晶圆缺陷评审和圆片分类系统捕捉高分辨率图像的缺陷,缺陷的产生一个精确的表示人口在一个晶片。用广泛的电子光学和专用镜头探测器,eDR7380支持缺陷可视化流程步骤,包括脆弱的EUV光刻层、高纵横比沟层和电压对比层。独特的同时™6技术产生一个完整的DOI帕累托在一个测试中准确的采购和更快的偏移检测缺陷。与连接特性,比如IAS™宽带光学图案的晶片检查员和OptiSens™裸晶片检查员,eDR7380提供独特的联系更快产生学习解放军的检查员在IC晶片制造。应用程序缺陷成像、自动内联缺陷分类和性能管理、裸晶片传出和传入的质量控制,晶片处理,热点的发现,发现缺陷,EUV打印检查,发现窗口过程,过程窗口资格,斜边审查。相关产品eDR7爱游戏ayx守望先锋280:电子束晶圆缺陷评估和分类系统与第五代电子束浸没式光学≤16 nm节点IC设计开发和生产。eDR®是一个解放军的公司的注册商标。