光学检查机阿切尔™系列

对于图案的晶片 测量 缺陷

阿切尔覆盖计量系统™600覆盖计量系统提供准确的产品叠加误差反馈内联检测和尖端设计晶片处理节点。增强成像测量技术和process-resilient目标设计、弓箭手600提供了健壮的覆盖控制的高容量的变化生产过程和前沿发展。弓箭手600支持测量范围广泛的覆盖目标设计上,包括多层和在目标,使改进的目标之间的相关性和不同的过程层设备覆盖错误,设备类型、设计节点和模式技术。应用在产品覆盖控制、内联监控扫描器资格、模式控制相关产品ATL: Scatterometry-based覆盖计量系统,支持≤7纳米设计节点与高精度的生产过程变化。爱游戏ayx守望先锋阿切尔500 lcm:双重成像,scatterometry-based测量模块提供高性能和具有成本效益的特征叠加误差为先进的流程2 xnm / 1 xnm设计节点。阿切尔500:成像叠加计量系统用于开发和高容量生产的先进模式流程2 xnm / 1 xnm设计节点。