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几何测量系统WaferSight™系列
用于无图案晶圆
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特征
- 测量物理值
- 几何
- 测量材料
- 用于无图案晶圆
描述
WaferSight™2+裸晶圆几何测量系统为晶圆制造商提供抛光和外延硅片，以及工程和其他先进的基板。通过产生晶圆平整度、双面纳米形貌和高分辨率边缘滚转数据，WaferSight 2+产生的数据可以帮助晶圆制造商确保批量生产第一质量的基板。应用:晶圆过程监控，晶圆出厂质量控制
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