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自动检验机wi - 2280
光学
LED晶圆
缺陷
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特征
- 技术
- 自动化、光学
- 应用程序
- LED晶圆
- 其他特征
- 缺陷
描述
WI-2280自动光学检测和计量系统检测和测量各种晶圆基板上的微电子器件，支持LED、VCSEL和其他集成电路应用的晶圆级封装和切丁后质量控制。它能够处理2到8英寸的整片晶圆，以及FFC或环箍上的切片晶圆。WI-2280系统具有检测和二维测量功能，可提供晶圆表面质量反馈;晶圆切片质量;并对凸块、垫块和铜柱的临界尺寸和覆盖质量进行了分析。该系统采用IRIS (ICOS审查和分类软件)设计，提供缺陷审查和重新分类，以实现更快的良率学习和改进的过程控制。工艺监控，出货质量控制，工具监控
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