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光学检测系统烛光CS920
自动
对于晶片
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这种产品比较
特征
- 技术
- 光学
- 运作模式
- 自动
- 应用程序
- 对于晶片
描述
集成解决方案表面缺陷检测,光致发光计量烛光®CS920碳化硅衬底和外延(epi)晶圆片表面缺陷检测系统的电力设备制造商提供full-surface,高灵敏度缺陷检测和准确反馈过程。这种epi晶圆表面缺陷检测系统有助于行业提高碳化硅衬底质量以及优化外延生长收益率SiC epi和GaN-on-silicon流程。CS920使显著提高产量和减少time-to-root引起的表面缺陷检测及光致发光技术集成在一个检验平台能够捕捉yield-critical缺陷包括地下底面混乱和epi堆积层错。
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