激光检测系统“航行者”号™

扫描 对于晶片 表面缺陷

Voyager™1015激光扫描检测系统支持生产斜坡缺陷监测，专门用于浸入式(193i)和EUV光刻的开发后检测(ADI)，此时晶圆仍可返工。DUV激光器，新的光学设计和最大的集合立体角产生了ADI中在高级设计节点上发现的紧密间距所需的缺陷灵敏度。定制的传感器和可切换的激光可以检测精密的光刻胶材料，而倾斜照明和先进的算法可以抑制ADI检测固有的噪声源，以获得更相关的结果。Voyager 1015提供了对晶圆单元和fab其他模块的关键缺陷的高通量捕获，允许快速识别和纠正工艺问题。应用范围:生产线监控器，工具监控器，工具鉴定，193i和EUV电阻鉴定