光学检测系统8系列

扫描 对于晶片 领导

8系列模式晶圆检测系统能以极高的吞吐量检测多种缺陷类型，以快速识别和解决生产过程中的问题。从最初的产品开发到批量生产，8系列能够对150mm、200mm或300mm硅和非硅衬底晶圆进行具有成本效益的缺陷检测，通过提供更高的批次和晶圆采样，帮助晶圆厂降低偏差的风险。8系列晶圆缺陷检测系统以LED扫描技术为特色，具有可选择的光谱、同时出现的亮场和暗场光路以及自动晶圆缺陷分类，旨在使领先的IC晶圆厂和遗留节点晶圆厂能够以更低的成本可靠地加速产品交付。爱游戏ayx守望先锋CIRCL: 8系列检测技术也可作为CIRCL缺陷检测、计量和评审集群工具上的一个模块。爱游戏ayx守望先锋