MaskStems Shops使用MaskTemp 2原位测量系统的原位标记温度测量系统用于资格和监测电子束作者和高温标线过程步骤。MaskTemp 2在电子束面罩作家的资格中起关键作用,因为在延长的时间段(最多24小时)中需要极高的温度稳定性才能完全写出掩码。在电子束面膜作者中,MaskTemp 2连续24个小时收集温度数据,从而为蒙版制造商提供所需的数据,以确保在编写关键口罩之前确保系统的热稳定性。面罩温度2还支持暴露后的烘焙表征,热板温度均匀性监测,热板匹配以及其他高温过程应用,帮助掩盖制造商识别和减少影响最终标线质量的写后过程热变化。应用电子束蒙版作者资格,过程开发,过程控制,过程资格,过程监控,流程工具资格,过程工具匹配