光学检查系统ICOS™F160

自动的 快速地

Die Anting和检查系统ICOS™F160模拟分类和检查系统提供高性能模具分类，并通过对切丁的晶圆级包装进行集成，完全自动化的检查。ICOS F160系统包括Xside™+ IR检验模块，该模块可对无形的激光凹槽，发际线和侧壁裂纹进行强有力的检测，所有这些裂纹都是高级风扇式晶圆片，内存和裸露模具的杀手缺陷。ICOS F160模糊器还支持6侧光学检查，并包括定位前检查和后期检查，以最大程度地分类精度。ICOS F160系统具有很高的灵活性，并支持许多工作流程，包括晶圆到胶带和胶带。它在不同配置，自动校准和精密拾音器之间的快速转换有助于在大型制造环境中增加工具利用率。应用模具分类，外向质量控制（OQC），已知良好模具（kgd），单位级可追溯性（ULT）