Stylus剖面研究仪HRP®260

平坦

HRP®-260是高分辨率，纸盒到纸板的手写笔伪造者。HRP通过为半导体，复合半导体，高亮度LED，数据存储和相关行业提供自动晶圆处理能力提供了可靠的生产性能。P-260配置支持步骤高度，粗糙度，弓和应力的2D和3D测量，可扫描到200mm，而无需缝合。HRP®-260配置具有与P-260相同的功能，再加上高分辨率阶段，可在更高分辨率和更快的吞吐量下测量小特征。HRP®-260具有双阶段能力，用于测量纳米和微表面地形。P-260配置提供了长时间的扫描（最高200mm）的功能，而无需缝合，而HRP®-260提供了高分辨率扫描阶段，可达90µm扫描长度。P-260与Ultralite®传感器，恒定力控制和Ultra-FAR扫描阶段的组合实现了出色的测量稳定性。HRP®260通过高分辨率压电扫描阶段增强了功能。配方设置非常容易，可以通过点击舞台控件，低速放大元件和高分辨率的数码相机。HRP®-260支持2D和3D测量，并具有多种过滤，升级和数据分析算法，以量化表面地形。 Fully automated measurements are achieved with automated wafer handling, pattern recognition, sequencing and feature detection.