光学表面光度仪Zeta-20

3 d 非接触式

Zeta-20台式光学轮廓仪是一种非接触式三维表面形貌测量系统。该系统采用专利ZDot™技术和多模光学系统，能够测量各种样品:透明和不透明，低到高反射率，平滑到粗糙纹理，台阶高度从纳米到毫米。Zeta-20在一个可配置且易于使用的系统中集成了六种不同的光学测量技术。ZDot™测量模式同时收集高分辨率3D扫描和真彩色无限焦图像。其他三维测量技术包括白光干涉术、诺玛斯基干涉对比显微镜和剪切干涉术。薄膜厚度可以用ZDot或集成宽带反射计测量。Zeta-20也是一种高端显微镜，可用于样品审查或自动缺陷检查。Zeta-20通过提供全面的台阶高度、粗糙度和薄膜厚度测量以及缺陷检测能力，支持研发和生产环境。应用步高:三维步高从纳米到毫米纹理:光滑到非常粗糙表面上的三维粗糙度和波浪度形式:3D弓和形状应力:2D薄膜应力膜厚度:透明膜厚度从30nm到100µm缺陷检查:捕获大于1µm的缺陷缺陷审查:使用KLARF文件导航到缺陷，测量三维表面形貌或标记缺陷位置