光学表面光度仪ζ- 388

3 d 非接触式

ζ- 388光学分析器是一种非接触式三维表面形貌测量系统。ζ- 388基于ζ- 300的功能添加盒对盒处理程序的完全自动化测量。系统是由专利ZDot™技术和多模光学,使各种样品的测量:透明和不透明,低到高反射率,平滑粗糙纹理,一步高度从纳米到毫米。ζ- 388集成了六种不同的光学测量技术在一个可配置的和易于使用的系统。ZDot™同时收集高分辨率三维扫描测量模式和真彩色无限关注形象。其他3 d测量技术包括白光干涉法、Nomarski干涉对比显微镜和剪切干涉法。可以测量膜厚与ZDot或一个集成的宽带反射计。ζ- 388也是一个高端显微镜可用于样品审查或自动缺陷检查。ζ- 388支持研发和产品环境通过提供全面的阶梯高度、粗糙度、膜厚度测量、缺陷检测能力,盒对盒晶片处理。