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退火炉CLH系列
老化
热
烘焙
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特征
- 函数
- 烘焙，老化，退火，热
- 配置
- 室
- 其他特征
- 高温、水平
- 最高温度
-
450°c, 500°c, 530°c(842°f)
- 宽度
-
1,285毫米(50.59英寸)
- 高度
-
2020毫米，2080毫米(79.53英寸)
- 深度
-
1,605毫米，1,775毫米(63.19英寸)
描述
耐高温的高性能过滤器和独特的冷却装置，实现了在清洁环境下的高温烘焙。热风循环系统用于高精度地进行晶圆和玻璃基板烘烤/老化，聚酰亚胺固化和退火。配有耐热高性能过滤器和独特的冷却装置，可实现高温烘焙。当温度稳定时，室内可保持100级清洁度。热风风机有两种类型:前侧水平循环风机(V型)和侧风机(III型)，热效率高，温度均匀性好。适用于半导体晶圆及玻璃基板烘烤、老化及其他要求高精度的热处理。可将惰性气体引入室内，使烘箱作为惰性气体烘箱使用。
