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线性定位台MS15
机动化的
压电
紧凑的
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特征
- 取向
- 线性
- 类型
- 机动,压电
- 其他特征
- 紧凑，微型，真空兼容
- 中风
-
3毫米(0.118英寸)
- 速度
-
1.5毫米/秒
描述
适用于高达10^(-6)mbar的高真空条件下，超紧凑设计3.5mm行程xyz -组合可能的超小型微型平移工作台与压电惯性驱动。真空版MS15。
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