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线性定位台MS15
机动化的
压电
使用硬件
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特征
- 取向
- 线性
- 类型
- 机动,压电
- 轴数
- 使用硬件
- 其他特征
- 紧凑，微型，真空兼容
- 中风
-
3.5毫米(0.138英寸)
- 速度
-
1.5毫米/秒
描述
超高真空条件下高达10^(-9)毫巴超紧凑设计3.5毫米行程15 x 15毫米占地面积超小型微型平移台与压电惯性驱动。MS15的特高压版。
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