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压电
多轴
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特征
取向
翻译
类型
压电
轴数
多轴
其他特征
微型、测量
中风
30毫米(1.181英寸)
速度
1.2毫米/秒
描述
30毫米行程,45 x 52毫米占地面积的闭环操作(分辨率可达50nm)多轴组合,无需转接板微型平移平台与压电惯性驱动与测量系统。
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