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热质量流量控制器IE50A
天然气
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特征
- 技术
- 热质量
- 流体
- 天然气
- 流量
-
最小值。0 l / h(0美国加仑/小时)
马克斯。3000 l / h(13个美国加仑/小时)
- 压力
-
150 psi
描述
IE50A质量流量控制器是一个通用,elastomer-sealed MFC与流量控制功能从5 sccm 50 slm全面,N2等价的。它包含了最新的数字流控制电子和证明,专利热传感器和机械设计。IE50A是现场数控MFC提供与模拟(0到5伏直流电或4 - 20毫安)或各种数字(RS485现场总线,®和设备网™)I / O。数字控制电子利用最新的MKS控制算法的快速反应和可重复的选点整个控制范围。典型的响应时间500毫秒。数字校准(包括)收益率1%的选点精度校准气体。
目录
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