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高浓度臭氧发生器
SEMOZON®AX8410 '
实验室
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特征
气体特征
高浓度
域
实验室
配置
紧凑的
描述
的SEMOZON®AX8410 '是最初的产品MKS的下一代平台紧凑、高浓度、高流,超干净的臭氧发生器。以新设计的细胞和权力结构实现臭氧产量的两倍模型与早些时候类似的足迹。的SEMOZON®AX8410 '将氧气通过无声放电臭氧。其小说专利细胞设计支持新工艺要求需要更高的臭氧浓度在80 slm流率。增加流量和更高的位置AX8410 '发生器满足臭氧浓度要求的下一代半导体过程。
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