MKS仪器1640 Pressure-based质量流量控制器是一种金属密封乐器与标准3英寸的足迹,在低压线路设计的仪表和控制气体流动压力应用热质量流量控制器的能力是有限的精确测量流量。1640年利用声波流的原则通过一个孔,一个条件满足时,上游控制压力至少两次下游压力。在这种情况下,质量流量控制压力成正比。在1640年的一个Pressure-Based Mass-Flo控制器,Baratron®电容压力计监测上游的关键孔的压力。这种压力与流量成正比。测量压力相比在控制电子流量设定值。然后生成控制信号驱动比例控制阀带来所需的电导作为实际控制压力与流量设定值(流)协议。