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热质量流量控制器P2 MFC
对酸气
数字
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这种产品比较
特征
- 技术
- 热质量
- 流体
- 对酸气
- 其他特征
- 数字
- 流量
-
最小值。0 l / h(0美国加仑/小时)
马克斯。1 l / h(0美国加仑/小时)
- 压力
-
最小值。4托(0 psi)
马克斯。1200年托(psi) 23日
描述
的PFC-60ΠMFC MKS生产的仪器,数字热质量流量控制器特别是用于腐蚀性气体。设备包括改善技术的功能和性能。他们帮助用户在半导体和高纯度薄膜的应用。设备的流量控制是上游和下游扰动不敏感。气体流量的实时控制,提高其准确性。他们有更好的比基于PID数字mfc电池室匹配。压力传感器和LED显示屏组合为了减少气体所需的组件。MFC的现场的安装和故障排除是由于基于web浏览器的界面。
目录
不用于本产品目录。
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