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气体过滤器
过滤器
灰尘
高速流
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特征
- 专为
- 气体
- 过滤元件
- 过滤器
- 应用程序
- 灰尘
- 其他特征
- 高流量、模块化、集成化、超高纯度(UHP)
- 流
-
100升/分(26.417 us gal/min)
- 过滤面积
-
0.003µm
描述
高精度，高流量，全金属过滤专为集成气体系统(IGS)组件。Mott High Purity多年来一直为半导体制造提供多孔金属过滤器和流量限制器，也提供与igs兼容的设计相同的产品。爱游戏ayx守望先锋因此，现在您可以将IGS典型的安装便利性、棒组件可访问性、维护便利性、减少组装时间和组件之间的兼容性与Mott独家提供的选择和性能优势结合起来。Mott的使命是为客户提供独特的过滤和流量控制解决方案，使用专门为苛刻的操作条件设计的材料，9 LRV效率和严格的流量控制。我们的全系列IGS过滤器和流量限制器产品旨在兼容目前在工艺工具，气柜和阀门歧管箱安装SEMI 27爱游戏ayx守望先锋87上指定的气体系统接口。随着300mm转换挑战的出现，我们的技术提供了必要的解决方案。高流量- Mott多孔金属介质具有独特的性能，与我们的竞争对手相比，可以生产更广泛的流量，材料和配置选项。这种几何形状的灵活性为过滤器提供了高达100 slpm的流量额定值，同时满足了行业的包线要求。完整的产品配置- Mott的标准IGS模块化安装产品包括1.125“配置C-Seal或W-Seal，以及1.5“版本C-Seal或W-Seal。我们有你需要的设计。
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