洁净室监测系统ADPC 302

环境

ADPC 302是一个独特的进程内污染粒子污染监测管理系统在半导体行业。高效粒子监测亚微米粒子会导致缺陷可能会导致相当大的收益损失。即使是最小的粒子测量0.1µm可能损坏半导体芯片的结构。302年创新ADPC措施在晶圆传输载体粒子数(FOUP对襟统一吊舱,对襟航运盒子,FOSB)。完全自动化的专利流程定位和计算粒子的载体表面,包括门。合格通过领先的晶圆厂,该系统可用于串行生产以及研发分析。主要应用程序载体特性、清洗策略优化和清洁质量检查。优势的干法(干燥粒子计数器)ADPC显示明显的好处相比传统湿法(液体粒子计数器)。干燥过程的主要优势在于粒子测量是完全自动的。它是集成生产过程,因此不需要在生产周期时间。 Thanks to the fully automated measurement, the process does not require an additional operator. The test time is only seven minutes, meaning that the ADPC 302 is four times as fast as traditional systems. It is possible to test eight transport boxes in one hour.