A3P系列的干泵降低了运营成本的高级技术,具有高能源效率的中等职责流程,其泵来自A3P系列的泵,Pfeiffer Vacuum提供了三种型号的泵系列,这些泵系列通过大幅降低的运营成本而分为巨大。与以前的泵技术相比,可以节省多达50%的能源。泵将最现代的知识集成到过程适用性。此外,与以前的紧凑型结构相比,它们可以节省多达50%的空间。优点• - 运营成本较低• - 占地面积小• - 轻巧的简单组装• - 中级应用程序中的高可靠性• - 与半导体生产应用的要求兼容• - 半导体行业(蚀刻,植入物,PVD,...)• - 半导体行业的光伏干泵A3P系列的干泵基于经过验证的多阶段根技术。泵的内部对腐蚀气体具有抗性。因此,泵在中等职责过程中具有很高的可靠性。该系列的三种可用型号提供了广泛的泵送速度,因此涵盖了半导体行业中中型真空泵的大多数要求。A3P系列适合在洁净室操作,并符合CE和SEMI S2标准。