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XY nanopositioning阶段p - 517, p - 527系列
XYZ
压电
使用硬件
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这种产品比较
特征
- 取向
- XY, XYZ
- 类型
- 压电
- 数量的轴
- 使用硬件
- 其他特征
- 用于亚纳米分辨率的显微镜
- 中风
-
100 μ m, 130 μ m, 200 μ m, 250 μ m
描述
- 2轴和3轴版本(XY和XYθ z) -行程范围至200 μ m亚纳米分辨率多亏了PICMA®压电执行器卓越的寿命专利PICMA®压电执行器是全陶瓷绝缘。这保护它们免受湿度和泄漏电流增加导致的故障。PICMA®执行器的寿命比传统的聚合物绝缘执行器长十倍。1000亿次循环没有一次失败。柔性导轨不需要维护、摩擦和磨损，也不需要润滑。它们的刚度允许高负载能力，它们对冲击和振动不敏感。它们是100%真空兼容和工作在广泛的温度范围。由于平行位置测量，在纳米范围内跟踪精度高。所有的自由度都在一个固定参考上测量。运动到另一个轴的不希望的串扰可以实时主动补偿(取决于带宽)(主动引导)。即使在动态操作中，也能在纳米范围内实现较高的跟踪精度。
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