XY nanopositioning阶段p - 541.2, p - 542.2系列

压电 对显微镜 精度

低调,便于集成:16.5毫米口径80毫米×80毫米旅行范围200µm×200µm并联更快的响应时间和更高的多轴直接传动精度高动态版本传感器技术:廉价的应变计传感器或电容传感器为更高的性能卓越的一生由于PICMA®压电致动器组合与显微镜阶段时间旅行可能范围杰出终身感谢PICMA®压电致动器专利PICMA®压电致动器是全绝缘。这保护他们对湿度和失败所产生的漏电流的增加。PICMA®致动器提供了一个十倍的时间比传统polymer-insulated一生致动器。1000亿个周期没有一个被证明失败。导向精度高,由于zero-play挠曲指南挠曲指南是免费维修,摩擦,磨损,不需要润滑。刚度允许高负载能力和他们对冲击和振动。他们是100%真空兼容和在宽温度范围内工作。高动态多轴操作由于并联一个并行结构多轴系统,所有执行器在一个共同的平台上。最低质量惯性和所有轴的相同的设计允许快速、动态的,然而精密运动。