集成扫描程序,用于硅光子学应用广泛的软件包,直接检测光信号,高精度和操作可靠性的位置传感器,在<0.5s内自动对准几根光纤快速高精度驱动器,光纤对准系统的基础是一个非常坚固的设置,采用H-811六足机和P-616 NanoCube®纳米定位器。平行运动学设计的运动自由度保证了高的系统刚度。电动驱动使更长的行程成为可能,同时,NanoCube®纳米定位器确保快速扫描运动和漂移效应的动态补偿。弯曲导轨和全陶瓷绝缘PICMA®执行器保证长寿命。因为所有的驱动器都配备了位置传感器,例如,有可能可靠地防止与昂贵的硅片发生碰撞。广泛的软件包交付范围内提供的软件包允许将系统集成到几乎任何环境中。支持Windows、Linux、MacOS等所有通用操作系统以及MATLAB、NI LabVIEW等大量通用编程语言。由于复杂的程序示例和使用诸如PIMikroMove这样的软件工具,从开始集成到生产操作之间的时间大大缩短了。应用领域光学元件对准、晶圆自动测试、硅光子学装配技术