速度至90mm /s 2相步进电机,直流电机增量线性编码器1nm分辨率高精度增量线性编码器位置测量非接触光学线性编码器在运动平台上直接测量实际位置,精度最高,非线性,机械作用或弹性变形不影响位置测量。光学参考点和限位开关。当仔细组装时,再循环球轴承具有高负载能力、使用寿命、免维护操作和导向精度的有利组合。工作台的移动部分由四个预装线性滚珠轴承单元支撑,它们运行在两个导轨上。每个轴承单元由两列独立的循环球轴承组成。驱动型两相步进电机的高扭矩,甚至在低速和高分辨率直流电机的高速恒定,低振动,高速应用领域的医疗工业,激光切割,生物技术,计量,显微镜