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XY定位表PENTOR
z轴
电
5轴
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特征
- 取向
- XY, z轴
- 类型
- 电
- 轴数
- 5轴
- 其他特征
- 高精度
- 中风
-
马克斯。100µm
描述
特点:三轴平移系统和两轴倾斜系统的组合自由中心孔直径17毫米集成预紧力每轴平移:高达100微米在每个方向倾斜:±2mrad固态柔性铰链平行四边形设计，没有机械发挥选项:集成测量系统光学平台通常需要一个开放的中心空间(例如通过光)。针对这些应用，PENTOR平移和倾斜系统开发了一个17毫米的自由中心孔。它提供了在x, y和z方向100µm的运动和在两个正交轴(j,q)上±2 mrad的倾斜。三个平移轴的柔性铰链保证了该阶段在旅行范围内的最高平行度。每个轴都有内置的集成机械预紧力，使得5轴压电定位器PENTOR非常适合动态应用。倾斜部分设计为正负倾斜。
