原理:激光线三角剖分QuellTech激光扫描仪利用三角剖分原理检测表面的二维轮廓。通过特殊的光学元件,点形激光束被扩展成一条线,并投射到感兴趣的物体上。反射激光线的漫射光被物镜以一定角度捕获,然后定向到二维接收芯片上。在已知距离和角度的基础上,为x级(激光线)中的每个像素计算精确校准的高度值(z),从而在样品的x-z平面上得到精确的轮廓。如果扫描仪被引导到样本(y轴)上,将创建一系列轮廓,形成空间中的三维点云。该点云可由软件进行尺寸控制。新的QuellTech Q5激光扫描仪系列结合了高分辨率和高扫描速率的小尺寸尺寸的优势。传感器处理不同的设置可能性与分析算法。测量结果通过以太网传递,在X / Z平面进行校准。可以选择特殊的可调算法,特别适用于光学要求最高的表面。 Time-consuming calibration tasks for the user are no more required, as the calibration routine runs on board. High Scan Rate with up to 14,000 Profiles per second Due to an appropriate limitation of the image range (AOI) in X and Z direction, the scan rate could considerably be increased.