太阳能沉积机HJT

高解离率涂层机制，几乎没有离子轰击，以保持良好的界面特性，在这种可靠的涂层技术可以达到高载流子迁移率。透明导电层(TCO)涂层。经低能电子束升华的高自由态目标离子在衬底上重组形成高质量的薄膜。·世界顶级异质结太阳能电池制造商只选用RPD设备。·高达80%的铟解离率，实现高质量透明导电膜。·镀膜过程小于30eV离子轰击，不损伤非晶硅膜，保持良好的界面特性。·高载流子迁移率和低载流子浓度保证了优良的电导率和高的长波长透过率。·IWO载流子迁移率高达80cm2/V。s，其中ICO载流子迁移率可高达130cm2/V.s。·HJT电池厂家长期量产验证，RPD生产的HJT太阳能电池转换效率比其他设备高出0.4%。 · Linear type and loop type RPD equipment can be provided according to customer request.