用于纹理和清洗效率高异质结太阳能电池。预清洗→去离子水清洗→看到除损伤→去离子水清洗→变形→去离子水清洗→去离子水清洗→清洗→PSC1-DI水化学抛光(O3)→去离子水清洗→星际2治疗→去离子水清洗→HF清洗→热水去离子水清洗→干燥→热空气干燥。与MES·合适,UPS和射频识别功能。·合理分布的电梯可以避免交叉污染的化学液体和反应有效加班过程浴。·紧凑和合理的结构布局,酸,碱性区和高清洁区隔开分区,占用空间小。·先进的双层浴结构有效提高了吞吐量400 pc /批处理。·浴过程结合了“饲料和流血”模式与“时间剂量”模式,将浴电梯的时间和减少浴改变有效时期。·剂量和化妆品采用线性检测的双磁致伸缩浴和加药桶内流量计,以及可调阀流量控制结构,以确保准确的初始时间化妆和准确性有效剂量。·优化和升级所有材料与工艺液体,以避免沉淀的杂质。·与最新的低温喷雾干燥技术,确保清洁和浴温度控制精度,提高太阳能电池的少数载流子寿命。