PECVD沉积机pd - 520

太阳能

主要用于在生产晶体硅太阳能电池时产生最高质量的抗反射涂层，以及在太阳能电池背面沉积钝化膜。石墨船、晶圆备好→进氮气→石墨船入氮气→抽真空、试压→氨预清洗、检查→抽真空、检漏、恒温→预涂膜→涂膜→抽真空、试压→管清洗、进氮气→石墨船卸载。·兼容SiOxNy PERC工艺。·双冷却水法兰密封技术。·专利内部加热技术。·高速整体模块推船机构。·石墨船与石英管无接触。·拥有自主知识产权的MES软件。·独立开发CCC体系。·快速涂布技术。 · Alarm protection for over-heating, thermocouple -break and boat collision.