气体分析仪
监控
用于质量控制
水分
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特征
- 测量单位
- 气体
- 应用程序域
- 监控，用于质量控制
- 测量值
- 水分
- 配置
- 的集成
- 技术
- TDL
描述
DF-730是一款超微量水分分析仪，可监测半导体晶圆厂中使用的电子级高纯度氯化氢(HCl)气体。DF-730用于分析半导体晶圆厂中使用的电子级HCl中的水分污染，是质量控制和泄漏检测应用的理想选择。Servomex业界领先的可调谐二极管激光(TDL)传感技术和强大的Herriot Cell可实现十亿分之十(ppb)到百万分之十(ppm)的广泛测量范围。通过确保水分只与最小的光学元件接触，DF-730的性能不受镜面反射率损失的影响-确保稳定，准确和一致的快速响应测量。DF-730领先的TDL传感技术提供零漂移，有助于延长维护周期并减少校准需求。DF-730具有高性能、超稳定的监测能力和可观的运营成本节约，是半导体晶圆厂理想的纯度监测解决方案。
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