溅射镀膜机SAF L-EM

真空

研发真空沉积工具SAF L-EM 1。1.1应用程序和主要特点主要应用程序研发真空沉积工具SAF L-EM是一个实验室规模的系统设计生产单面金属涂层平面基板。这个工具的目的是为客户的生产涂布材料调查产品概念/技术证据。发现解决方案可以随后用于扩大证明产品的技术。该工具可用于存款几个材料通过蒸发和磁控溅射涂层的各种组合提供了可能性。的设计工具允许添加沉积能力除了本规范中提到的其他材料。1.2设计研发工具SAF L-EM Sidrabe的SAF集群工具产品线沉积系统。1.3工具1.3.1工具的主要特点是一套与衬底batch-operating机加载之前的周期和产品卸载循环后完成。1.3.2工具用于处理薄陶瓷或玻璃基板1.3.3 2室的工具包括:储存和装卸室和涂层沉积或过程。一个线性机械手传输室之间的基板的磁带。 1.3.4 Coating deposition is carried out either by means of thermal evaporation of lithium or by means of magnetron sputtering from metallic targets. During deposition, orientation of the substrate is horizontal. Debris-free and uniform coating is ensured due to upward deposition.