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线性阶段SMARPOD CLS-32
压电
使用硬件
闭环
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特征
- 取向
- 线性
- 类型
- 压电
- 轴数
- 使用硬件
- 其他特征
- 闭环，真空兼容，无磁性
- 中风
-
10毫米，20毫米(0.394英寸)
描述
SMARPOD CLS-32配备了可交换驱动单元，完全适用于所有高可用性应用。该装置配备了SmarAct的可交换驱动单元(edu)，保证了压电驱动器的简单和快速交换，无需完全拆卸定位设置，也不会丢失校准和位置数据。与其他SmarAct SMARPOD一样，SMARPOD CLS-32也有高真空和超高真空版本，或由完全无磁性材料制成。机械旅行[- 21 (Θx);24(Θy);38 (Θz) Max。法向力[N] - 5最大水平力[N] - 2.5尺寸[mm] - Ø 124平台离地高度[mm] - 54重量[g] - 550
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