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XYZ定位系统
激光
紧凑的
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特征
数量的轴
XYZ
特性
激光
其他特征
紧凑的
描述
XYZ定位系统的传感器头和样品扫描激光束。使用XYZ定位系统位置的探测光束干涉仪和扫描它感兴趣的地区。定位系统是建立在三个SmarAct闭环定位器封装在一个紧凑的保护住房。每个定位器都有一个最大扫描范围的20毫米和50 nm的可重复性。传感器头安装在定位器的最低水平。XYZ定位系统是安装在一个直径25毫米后,使其高度很容易调整,以适应不同尺寸的样本。甚至可以删除的定位系统安装后为了安装一个自定义设置或把它与另一个工具。
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