与123毫米x轴和103毫米的轴,som - 180150提供了最大的旅游范围SmarAct显微镜阶段。基于紧凑SLC线性阶段,som - 180150提供了纳米级闭环最高精度和可重复性。阶段的长度是286毫米,宽度216毫米,高度30毫米。舞台上的重量是2500克。兼容常见的制造商是确保通过标准插入适配器和案板兼容的基板。盖板和阶段本身都是高度可定制的。机械阻塞[N] -≥5.5马克斯。法向力[N] - 10尺寸(毫米)- 286 x 216 x 30重量[g] - 2500开环开环分辨率(nm) < 1选项真空选项-高压(1 e-6 mbar);特高压/ UHVT (1 e-11 mbar)